Сейчас ваша корзина пуста!
Команда
Наша команда
Инженеры, действующие кандидаты наук и практики тонкоплёночных технологий. Мы превращаем фундаментальные знания в промышленный результат.
ООО «Точные Вакуумные Системы» (ТВС) — научно-техническая команда, работающая на стыке вакуумной техники, плазменной физики и материаловедения. Мы проектируем, подбираем и внедряем установки PVD, сопровождая клиента от идеи до стабильной серийной эксплуатации.
10⁻⁶ Пауровни рабочего вакуума
до 90%+степень ионизации в дуговой плазме
Å–µmконтроль диапазона толщин
24/7сервис и сопровождение
Кто мы
Научная экспертиза
В команде работают действующие кандидаты наук, специализирующиеся на тонкоплёночных покрытиях, плазменных процессах и физике конденсированного состояния. Их публикации и патенты легли в основу методик управления адгезией, морфологией и составом покрытий.
- материаловедение: карбиды, нитриды, бориды и оксиды тугоплавких металлов;
- управление разрядами: DC/RF/импульс, магнетрон и дуга;
- метрология: толщинометрия, спектроскопия, микротвёрдость, адгезия;
- вакуумная техника: форвакуумные и высоковакуумные каскады, крио- и турбомолекулярные насосы.
Промышленная практика
Мы внедряем решения «под ключ»: от технического задания и подбора источников до интеграции газораспределения, подогрева подложек и bias-смещения. Обучаем персонал, настраиваем режимы и обеспечиваем воспроизводимость партии к партии.
- подбор режимов для TiN, TiAlN, AlCrN, TiCN, ta-C, ITO и др.;
- реактивное распыление (O₂, N₂, CH₄) с управлением стехиометрией;
- гибридные камеры: магнетрон + дуга + ионное ассистирование;
- цикл SOP/PM: регламенты, сервис, расходники, обучение.
Чем мы занимаемся
Проектирование и подбор
Формируем архитектуру камер, выбираем источники питания (DC/RF/пульс), конфигурируем магнетроны и испарители, рассчитываем тепловые и газодинамические режимы.
Внедрение и калибровка
Проводим вакуум-обвязку, настройку систем газов (Ar, O₂, N₂), подогрева, bias и мониторинга толщины. Калибруем скорость осаждения и равномерность.
Аналитика и контроль
Внедряем контроль покрытия: толщина, шероховатость, состав, фаза. Поддерживаем статистическую устойчивость процесса (SPC) и трассируемость партий.
Обучение персонала
Составляем программы подготовки операторов и технологов, чек-листы пуско-наладки, инструкции по безопасности и аварийным процедурам.
Сервис и сопровождение
Плановое ТО, регенерация насосов, чистки камер, замена мишеней, оптимизация расходников, удалённая диагностика 24/7.
R&D поддержка
Подбор материалов, режимов и подложек под целевые свойства: твёрдость, трение, оптика, коррозия, биосовместимость.
Как мы помогаем
- Инструмент и штамповка: увеличение ресурса режущего инструмента (TiN/TiAlN/AlCrN), снижение простоев и затрат на переналадку.
- Машиностроение: защита деталей трения и гидравлики, золотниковых пар, повышение коррозионной стойкости.
- Оптика и электроника: ITO, оксидные/нитридные плёнки с контролем оптических и проводящих свойств.
- Медицина и декор: биосовместимые покрытия (TiO₂, ZrN), стойкие декоративные решения.
Примеры компетенций команды
Руководитель R&D, к.ф.-м.н.
Специализация — кинетика роста кристаллических фаз в условиях ионного ассистирования, управление напряжениями в плёнках и адгезией. Опыт внедрения гибридных камер (магнетрон + дуга) для покрытий TiAlN/AlCrN.
Главный технолог PVD
Проектирование режимов DC/RF/пульс, реактивное распыление (O₂/N₂/CH₄), карта равномерности, SPC-контроль толщины и состава. Настройка SOP/ТО и обучение смен.
Инженер-вакуумщик
Каскады откачки, выбор насосов (сухие/масляные, турбомолекулярные, крио), расчёт времени откачки, герметизация, контроль утечек и чистоты процесса.
Метролог покрытий
Толщинометрия, профилометрия, спектроскопия, микротвёрдость, испытания на износ. Корреляция свойств с режимами процесса и рекомендациями для производства.
Почему с нами надёжно
Физика процесса — в приоритете
Мы управляем не только кнопками, но и причинами: энергией ионов, плотностью плазмы, стехиометрией, температурой подложки и bias-смещением. Отсюда — воспроизводимость и предсказуемость.
Экономика проекта — в фокусе
Считаем производительность, цикл ТО, расход мишеней и газов, чтобы покрытие было не только идеальным, но и экономически обоснованным.